8ème réunion du Groupe Dépôt
Cette réunion s’est tenue à l’Institut INL de Lyon les 14 et 15 octobre 2025. 51 participants (41 IT, 6 MCF/CR/DR, 4 industriels) ont assisté à 14 présentations orales et échanges sur des thèmes liés au dépôt : accent mis sur les contraintes dans les films minces (caractérisations, modélisation, techniques de compensation des contraintes), nouveaux matériaux, nouvelles techniques, caractérisations des dépôts, présentations techniques/scientifiques de l’industrie (PLASSYS, ALLIANCE-CONCEPT, ELECTRON-MEC, HUMMINK) et table ronde à la fin de la réunion.
Une session de posters a été organisée, au cours de laquelle les participants ont présenté leurs thèmes centraux/plateformes ou technologiques, et des visites de la plateforme NanoLyon et du Laboratoire des Matériaux Avancés – LMA (revêtements pour l’optique VIRGO / LIGO) ont été organisées.
Ces groupes d’étude RENATECH se réunissent régulièrement pour échanger sur les nouvelles technologies et les nouveaux équipements disponibles. Cela favorise le partage des meilleures pratiques et des connaissances sur l’utilisation et la fiabilité des différentes machines de microfabrication entre les membres du groupe.
