NanoFILN a pour objectif de mettre en place une filière technologique nationale amont (réseau RENATECH et CEA), pour les composants en optique intégrée de nouvelle génération basés sur l’utilisation de films minces de LiNbO3. Deux démonstrateurs exploitent les propriétés remarquables du LiNbO3. Le premier utilise l’effet électro-optique (modulateur/switch) tandis que le deuxième se base sur l’effet non-linéaire (générateur de photons jumeaux). Nous nous concentrons sur l’intégration de fonctions multiples sur puce monolithique et l’hybridation sur silicium. L’accès simultané à trois méthodes complémentaires d’élaboration des films minces (100 nm – quelques μm) de LiNbO3 : la découpe ionique, le report, l’amincissement et l’épitaxie, est unique au niveau mondial. Les deux applications cibles concernent le domaine de l’optique quantique et des télécoms, mais il est évident que le savoir-faire développé sera aisément transposable à d’autres domaines (analyse environnementale, traitement du signal, …)