Les projets d'investissement

RENATECH-CNRS
Réseau d’experts et d’équipements pour la fabrication en micro et nanotechnologies
Renatech est le réseau académique français des équipements de pointe dans le domaine des micro et nanotechnologies piloté par le CNRS.
Son objectif est de développer, maintenir et fournir une infrastructure compétitive pour la recherche et la R&D en micro et nanofabrication en France pour les clients académiques ou industriels.
Renatech est le partenaire privilégié pour les projets technologiques. Les centrales de fabrication sont réparties sur tout le territoire français afin de garantir la proximité nécessaire à la réalisation des projets.
C’est un écosystème innovant et riche de compétences qui permet de bénéficier de services spécifiquement conçus pour l’accompagnement tout au long des développements technologiques.

PFNC-CEA
Plateforme de nano-caractérisation
A Grenoble, au cœur du campus MINATEC, la plate-forme de nanocaractérisation regroupe plusieurs laboratoires de haut niveau qui associent leurs connaissances en travaillant sur des équipements communs. Ces équipes observent et mesurent les propriétés ultimes de matériaux synthétisés dans des dispositifs ou des systèmes polyvalents à l’échelle du nanomètre. Leur rang mondial garantit des activités de premier plan en recherche et développement avec les objectifs suivants :
• Enrichir la connaissance, le savoir-faire et l’expertise dans les analyses de nanocaractérisation,
• Favoriser le développement de nouveaux outils et équipements d’analyse structurale ou physico-chimique des nanostructures et des dispositifs,
• Constituer des programmes et des projets communs entre la recherche fondamentale, la recherche appliquée, et les industriels dans les domaines des nanosciences et des nanotechnologies… continuer de lire
Faits marquants
Première journée thématique Nanocaractérisations avancées (Renatech+/CEA) – Minatec Grenoble – 18 &19 Mars 2024

Histogramme et cartographie de distribution de l’indium dans des puits InGaN/GaN obtenue à partir d’images STEM en champ sombre annulaire.
https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2020.113152
Le réseau Renatech+ piloté par le CNRS et la Plate-Forme de Nano-caractérisation du CEA-Grenoble la PFNC possèdent des moyens de caractérisation à l’état de l’art mondial ainsi qu’une expertise en analyse et traitement des données de caractérisation reconnue internationalement.
Afin de favoriser les échanges et initier des collaborations entre les équipes de recherche autour d’équipements ou de techniques de pointe, une première journée thématique s’est déroulée à Minatec Grenoble (Lundi 18/03/23 après-midi et Mardi 19/03/23 matin) sur les sujets suivants :
• Micro et Nanoanalyse structurale et chimique
• Développements instrumentaux et méthodologiques en tomographie à l’échelle nanométrique
• Techniques de caractérisations optique

FIB/SEM ThermoFisher HELIOS 5 FX

Lame TEM préparée par FIB
FIB* à l’état de l’art pour la préparation d’échantillons - Oct-2024
Afin de répondre au mieux aux besoins de caractérisation à l’échelle nanométrique de la microélectronique, une préparation minutieuse des échantillons est nécessaire, afin d’obtenir des échantillons fins et parfaitement localisés. A cette fin, le CEA a fait l’acquisition d’un équipement FIB/SEM à l’état de l’art, offrant une très haute résolution d’imagerie SEM, combinée à de forts courants et une haute résolution d’abrasion FIB. L’équipement HELIOS 5 FX de ThermoFisher, en cours d’installation à la PFNC sera opérationnel en novembre 2024.
La machine sera principalement utilisée pour la préparation de lames TEM et de pointes APT. Les éléments distinctifs de cette machine sont :
- Détecteur STEM : détecteur rendant possible l’imagerie d’une lame en transmission pendant la préparation, pour le repérage de zones d’intérêt de faibles dimensions et la pré-analyse des lames et pointes
- CompuStage : canne permettant l’ajout d’un degré de liberté pendant la préparation, ainsi que l’imagerie STEM
- Caméra T-pix : caméra pour l’imagerie d’une lame en diffraction
- Imagerie ECCI : module permettant l’observation de dislocations à la surface de l’échantillon avant sa préparation
* Acronymes :
FIB : Focused Ion Beam, faisceau d’ions focalisés
SEM : Scanning Electron Microscope, microscope électronique à balayage
TEM : Transmission Electron Microscope, microscope électronique en transmission
APT : Atom Probe Tomography, sonde atomique tomographique